氮化矽

氮化矽（Si3N4）是一種很硬的固態物質，可由矽粉在氮氣中加熱或鹵化矽與氨反應而製得。Si3N4是氮化矽陶瓷中的主要成份，比起其他陶瓷，有相對較高的抗震動特性。


因為材料的抗震動及抗高溫特性，高檔的滑板有時會用氮化矽來做成滑板的軸承。氮化矽也會用在家用瓦斯器具或熱表面點火裝置的點火器具。

在微電子領域中，常使用化學氣相沉積（CVD）或電漿輔助化學氣相沉積（PECVD）等方法來製備氮化矽。氮化矽通常會用做阻絕不同結構的絕緣體或微加工中蝕刻製程所需的保護層。氮化矽也常用在微晶片中的鈍化層，因為它比起二氧化矽，對水分子和鈉離子有更好的阻擋擴散的能力。而水分子和鈉離子是微電子領域兩大造成腐蝕和不穩定的因素。另外氮化矽也用在類比晶片中電容的多晶矽間的介電質。

因為氮化矽的硬度、熱穩定度及抗磨損特性，所以氮化矽也是常被用做切割工具的材料。它也常被用在高速的鑄鐵加工機器中。在鋼鐵加工機器中，氮化矽通會上一層氮化鈦層 (通常使用化學氣相沉積方法) 以增強它的抗化學特性。

氮化矽(Si3N4)陶瓷刀具有很高的耐磨性、紅硬性，可以進行高速切削、減少換刀次數及減少由於刀具磨損而造成的尺寸誤差。

在數控機床、加工中心線上應用具有更明顯優勢，大大提高了生產效率和產品質量。


資料來源:維基百科




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